Mondialement utilisé pour la qualification de réseaux de distribution ultra-purs ou pour préserver l’intégrité d’une chaîne de fabrication type semi-conducteur, l'APIX, conçu par Thermo Fisher Scientific Inc., est le CQC (i.e. Continuous Quality Control) de référence pour l’analyse des gaz vecteurs au niveau du ppt.
Certains procédés en électroniques nécessitent des gaz de pureté extrêmes. Afin de garantir ces puretés, Air Liquide propose une solution inégalée pour l’analyse au ppt : l’APIXTM !
L’APIXTM fait parti de notre offre CQC, mais contrairement aux CQC traditionnels réalisés sur mesure, c’est un analyseur standard avec son propre système automatique d’échantillonnage et de calibration, spécialement conçu pour les analyses au ppt. L’APIXTM permet de suivre en temps réel la concentration de plusieurs impuretés clés (O2, CO, CO2, H20, CH4 etc.) en même temps, dans un ou plusieurs gaz vecteurs (N2, H2, Ar, He, O2).
Guaranteed limit detection (1 minute analysis cycle to measure all the impurities indicated in a single vector gas)
| Impurity | Nitrogen | Argon | Helium | Hydrogen |
| Oxygen | 10 ppt | 10 ppt | 10 ppt | 30 ppt |
| Hydrogen | 150 ppt | 100 ppt | 50 ppt | - |
| Methane | 10 ppt | 10 ppt | 10 ppt | 10 ppt |
| Total Methyl Hydrocarbons | 10 ppt | 10 ppt | 10 ppt | 10 ppt |
| Moisture | 30 ppt | 30 ppt | 30 ppt | 30 ppt |
| Carbon Monoxide | 50 ppt | 10 ppt | 10 ppt | 30 ppt |
| Carbon Dioxide | 10 ppt | 10 ppt | 10 ppt | 10 ppt |
| Nitrogen | - | - | 10 ppt | 150 ppt |
| Argon | - | - | 10 ppt | - |
| Kryton | 10 ppt | 10 ppt | 10 ppt | 10 ppt |
| Xenon | 10 ppt | 10 ppt | 10 ppt | 10 ppt |
Switchover time to reach a level of 1 ppb (minutes)
| To Bulk Gas | From Bulk Gas: Argon | From Bulk Gas: Helium | From Bulk Gas: Hydrogen | From Bulk Gas: Nitrogen |
| Argon | - | 5 min | 30 min | 15 min |
| Helium | 15 min | - | 30 min | 15 min |
| Hydrogen | 15 min | 15 min | - | 15 min |
| Nitrogen | 5 min | 5 min | 30 min | - |
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Danyelle Silanus
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