Solution standard APIX - Thermo Fisher Scientific  [ Retour vers  Contrôle analytique en ligne des gaz vecteur de très haute pureté  ]

Une solution unique pour le contrôle en continu au niveau du ppt de la qualité des gaz vecteurs en électronique

Mondialement utilisé pour la qualification de réseaux de distribution ultra-purs ou pour préserver l’intégrité d’une chaîne de fabrication type semi-conducteur, l'APIX, conçu par Thermo Fisher Scientific Inc., est le CQC (i.e. Continuous Quality Control) de référence pour l’analyse des gaz vecteurs au niveau du ppt.

Certains procédés en électroniques nécessitent des gaz de pureté extrêmes. Afin de garantir ces puretés, Air Liquide propose une solution inégalée pour l’analyse au ppt : l’APIXTM !

L’APIXTM fait parti de notre offre CQC, mais contrairement aux CQC traditionnels réalisés sur mesure, c’est un analyseur standard avec son propre système automatique d’échantillonnage et de calibration, spécialement conçu pour les analyses au ppt. L’APIXTM permet de suivre en temps réel la concentration de plusieurs impuretés clés (O2, CO, CO2, H20, CH4 etc.) en même temps, dans un ou plusieurs gaz vecteurs (N2, H2, Ar, He, O2).

Bénéfices clés

  • La référence mondiale pour l’analyse au ppt avec une centaine d’unités vendues dans le monde
  • Jusqu’à 4 gaz analysés en parallèle (avec système de Switch)
  • Système de calibration automatique intégré (hors gaz)
  • Démarrage et formation sur site

Principales caractéristiques techniques

 

Guaranteed limit detection (1 minute analysis cycle to measure all the impurities indicated in a single vector gas)

Impurity Nitrogen Argon Helium Hydrogen
Oxygen 10 ppt 10 ppt 10 ppt 30 ppt
Hydrogen 150 ppt 100 ppt 50 ppt -
Methane 10 ppt 10 ppt 10 ppt 10 ppt
Total Methyl Hydrocarbons 10 ppt 10 ppt 10 ppt 10 ppt
Moisture 30 ppt 30 ppt 30 ppt 30 ppt
Carbon Monoxide 50 ppt 10 ppt 10 ppt 30 ppt
Carbon Dioxide 10 ppt 10 ppt 10 ppt 10 ppt
Nitrogen - - 10 ppt 150 ppt
Argon - - 10 ppt -
Kryton 10 ppt 10 ppt 10 ppt 10 ppt
Xenon 10 ppt 10 ppt 10 ppt 10 ppt

 

Switchover time to reach a level of 1 ppb (minutes)

To Bulk Gas From Bulk Gas: Argon From Bulk Gas: Helium From Bulk Gas: Hydrogen From Bulk Gas: Nitrogen
Argon - 5 min 30 min 15 min
Helium 15 min - 30 min 15 min
Hydrogen 15 min 15 min - 15 min
Nitrogen 5 min 5 min 30 min -

 

Norme

  • CE

Références

  • STMICROELECTRONICS
  • AMD
  • SOXAL
  • ATMEL
  • INFINEON

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